Wurzelzieher

Inhalt

Halbleitertechnik

Einleitung

Herstellungsprozesse

  

Definition der Strukturen

  

Dotieren des Ausgangsmaterials

  

Abscheiden und Aufwachsen von Schichten

  

Strukturieren von Schichten

  

Planarisieren, Reinigen, Messen

Halbleiterstrukturen

Status und Ausblick

Umweltschutz/ Literatur/ Weblinks

 

 

Halbleitertechnik

Die Halbleitertechnik definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik (speziell der Mikroelektronik). Trifft man die Zuordnung aufgrund der eingesetzten Methoden und Verfahren und materialtechnischen Eigenschaften der hergestellten Produkte, so ist auch eine Zuordnung zu den Bereichen Chemietechnik und Keramik möglich und folgerichtig. Die Halbleitertechnik befasst sich mit der technischen Herstellung mikroelektronischer Bauelemente und mikroelektronischer Baugruppen (Integrierte Schaltungen) vorwiegend aus Halbleitermaterialien.


 

 

 

 

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